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薄膜厚度测绘仪

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Map薄膜厚度测绘仪


参考价格:30-40万

Map薄膜厚度测绘仪用于测量厚度分布,评价薄膜厚度的均一性,可与所有MProble系列的薄膜测厚仪联用。

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大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石炭),聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

Map薄膜厚度测绘仪用于测量厚度分布,评价薄膜厚度的均一性,可与所有MProble系列的薄膜测厚仪联用。

厚度测绘台包含:

1. XY电动载物台,行程:150mm/200mm/300mm

2. 19英寸铝制底座

3. 探头适配器

4. 载物台控制器

5. 厚度拼图软件


可选硬件模块:
150XYM 6英寸(150X150mm)行程电动载物台
200XYM 8英寸(200X200mm)行程电动载物台
300XYM 12英寸(300X300mm)行程电动载物台
VAC 真空吸附器
TR 透射率测量模块


电动载物台参数:

位移精度 小于2um
分辨率 小于0.5um
驱动器 步进马达
通讯 USB接口
尺寸 19X19x10英寸(6和8英寸行程)
重量 12kg


薄膜厚度分布图(厚度以颜色标示):   

Map薄膜厚度测绘仪


厚度测绘软件:

Map薄膜厚度测绘仪


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