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显微薄膜测厚仪

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MProbe MSP显微薄膜测厚仪


参考价价:20-30万

MProbe MSP显微薄膜测厚仪适用于实时在线测量,多层测量,非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

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大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石炭),聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)。

测量范围: 1 nm -800um

波长范围: 200 nm -1700 nm

光斑直径:200um-4um

适用于实时在线测量,多层测量,非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

测量指标:薄膜厚度,光学常数

界面友好强大: 一键式测量和分析。

实用的工具:曲线拟合和灵敏度分析,背景和变形校正,连接层和材料,多样品测量,动态测量和产线批量处理。

MProbe MSP显微薄膜测厚仪



性能参数:

   精度 <0.01nm or 0.01%
   准确度 <0.2% or 1 nm
   稳定性 <0.02nm or 0.03%
   光斑直径 200um -4um
   样品大小 100um-200mm
   物镜 10X,20X,50X,8X(UV-NIR),长工作距离


测量100nm二氧化硅薄膜,40um光斑直径,波长范围:200-1000nm:


MProbe MSP显微薄膜测厚仪



MProbe MSP显微薄膜测厚仪


可选部件:
型号 描述 备注
MXY(6或8) 电动载物台,行程6英寸(150mm)或8英寸(200mm),包含控制器和厚度绘图软件,0.5um步进,1um重复精度 准备配置中包含8英寸手动载物台
TOM 透射率测量模块,包含透射光源,聚光镜,和光纤 可用于可见光和近红外波段
RetCCD SCMOS相机,用于对测量部分的成像 可用于其他正置显微镜
APO100 APO 100倍物镜(可见光),分辨率0.7um 标准配置中包含2X,10X,20X,50X物镜

型号 波长范围 光谱仪/检测器/光源 测量范围
VIS-MSP 400-1100nm F4光谱仪,3600像素CCD检测器,卤钨灯 15nm-20um
UVVisSR-MSP 200-1100nm F4光谱仪,3600像素CCD检测器,氘灯和卤钨灯 1nm-20um
HRVIS-MSP 700-1000 nm 高分辨率F4光谱仪,204800像素CCD检测器,卤钨灯 1um-400um
NIR-MSP 900-1700nm F2光谱仪,512像素InGaAs PDA检测器,卤钨灯 100nm-200um
VISNIR-MSP 400-1700nm F4光谱仪,3600像素CCD检测器(可见光通道),F2光谱仪,512像素InGaAs PDA检测器(近红外通道),卤钨灯 15nm-200um
UVVISNIR-MSP 200-1700nm F4光谱仪,3600像素CCD检测器(可见光通道),F2光谱仪,512像素InGaAs PDA检测器(近红外通道),氘灯和卤钨灯 1nm-200um
HRVisX-MSP 700nm-1000nm HRX高分辨率F4光谱仪,3600像素CCD检测器,卤钨灯 5um-800um


测量n和k值,其厚度范围需在25纳米和5微米之间

保修期1年


我们乐意为您进行免费样品测量,欢迎来电咨询。


美国Semiconsoft中国总代理   上海全耀仪器设备有限公司    


全国咨询热线:400-992-5592
 


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