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反射光谱薄膜测厚仪

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MProbe系列薄膜测厚仪


参考价格:15-20万

型号:MProbe

反射光谱干涉法是一种非接触式、无损的、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术。

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  当一束光入射到薄膜表面时,薄膜上表面和下表面的反射光会发生干涉,干涉的发生与薄膜厚度及光学常数等有关,反射光谱薄膜测厚仪就是基于此原理来测量薄膜厚度。

  反射光谱干涉法是一种非接触式、无损的、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术。

  测量范围: 1 nm - 1 mm

  波长范围: 200 nm -8000 nm

  光斑尺寸:2mum -3 um

  产品特点:

  a. 最高的测量精度:0.01nm或0.01%

  b. 准确度:1nm或0.2%

  c. 稳定性:0.02nm或0.02%

  d. 强大的软件材料库,包含500多种材料的光学常数

  e. 通过Modbus TCP或OPC协议,与其他设备联用

  适用于实时在线测量,多层测量,非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等


  大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石炭),聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

  标准配置中包含:

  1. 主机(光谱仪,光源,电线)

  2. 反射光纤

  3. 样品台及光纤适配器

  4. TFCompanion软件

  5. 校准套装

  6. 测试样品,200nm晶圆

  广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中:

  半导体晶圆,薄膜太阳能电池,液晶平板,触摸屛,光学镀膜,聚合物薄膜等



多种型号可选,每个型号对应不同的测量范围:



 测量n和k值,其厚度范围需在25纳米和5微米之间

  还有其他配置可供选择

  提供OEM和客户定制化服务

  保修期1年


上海全耀代理产品:膜厚测量仪,薄膜测试仪,膜厚仪,厚度测量仪以及MProbe MSP显微薄膜测试仪等,欢迎广大用户前来订购。


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