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反射光谱薄膜测厚仪

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MProbe NIR薄膜测厚仪


参考价格:15-20万

采用近红外光谱(NIR)的薄膜测厚仪,可以用于测量一些可见光和紫外光无法使用的应用领域,比如在可见光范围内有吸收的太阳能薄膜(CIGS, CdTe)可以快速的测量。

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采用近红外光谱(NIR)的测厚仪可以用于测量一些可见光和紫外光无法使用的应用领域,比如在可见光范围内有吸收的太阳能薄膜(CIGS, CdTe)可以快速的测量。

测量范围: 100 nm -200um

波长范围: 900 nm -2500 nm

适用于实时在线测量,多层测量,非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

测量指标:薄膜厚度,光学常数

界面友好强大: 一键式测量和分析。

实用的工具:曲线拟合和灵敏度分析,背景和变形校正,连接层和材料,多样品测量,动态测量和产线批量处理。


 MProbe NIR薄膜测厚仪

                     (MProble NIR薄膜测厚仪系统示)


系统性能参数:

           精度 <0.01nm or 0.01%
           准确度 <0.2% or 1 nm
           稳定性 <0.02nm or 0.03%
          光斑直径 标准3mm, 可以小至3um
          样品大小 大于1 mm


MProbe NIR薄膜测厚仪



技术参数:


测量范围 100nm-200um
精度 <0.01nm or 0.01%
准确度 <0.2% or 1 nm
稳定性 <0.02nm or 0.03%
波长范围 NIR: 900-1700
NIRX: 900-2200
NIRX2:1550-2500nm
光谱仪和检测器 F4光谱仪,256/512/1024像素InGaAs PDA检测器,16位深,TE制冷,高灵敏度,高动态范围,信噪比:大于6000
光谱分辨率 小于4nm(512像素)
光源 5W卤钨灯,色温2800,寿命:10000小时
反射探头 光导光纤(7个纤芯),纤芯400um

可选硬件模块:
FLNIR 石英聚焦透镜,工作距离:35mm,光斑直径:小于0.5mm
FDHolder 面向下面样品适配器,用于透明样品
TO 透射率测量模块
TO Switch 2个通道转换器,用于反射率和透射率测量
20W 20W卤钨灯(色温3100,寿命2000小时)
TR 5V TTL外触发模块,1个外部in触发,启动测量,6路out触发

可选软件模块:
MOD 远程控制(TCP),基于Modbus协议
KM 动态测量模块,设定时间间隔,用于在线测量

 MProbe NIR薄膜测厚仪

订购信息:

MProbe NIR-AA-BBBB

AA:光谱范围(OO:900-1700nm;OX:900-2200nm;X2:1550-2200nm)

BBBB:InGaAs PDA像素数量(256,512或1024)

例如:MProbe NIR-OO-512,代表900-1700nm光谱,512像素检测器


我们乐意为您进行免费样品测量,欢迎来电咨询。


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